Τι είναι το TTV, το Bow και το Warp της σιλικόνης;
May 7, 2024
Οι παράμετροι της επιφάνειας της πλακέτας πυριτίου, Bow, Warp και TTV, είναι κρίσιμοι παράγοντες που πρέπει να λαμβάνονται υπόψη στην κατασκευή τσιπ.Αυτές οι τρεις παραμέτρους συλλογικά αντικατοπτρίζουν την ομοιότητα επίπεδης και πάχους της πλακέτας πυριτίου, επηρεάζοντας άμεσα πολλά βασικά βήματα στη διαδικασία παραγωγής τσιπ.
Τι είναι το TTV (συνολική διακύμανση πάχους);
Το TTV (Total Thickness Variation) είναι η διαφορά μεταξύ του μέγιστου και του ελάχιστου πάχους μιας πλακέτας πυριτίου.Αυτή η παράμετρος χρησιμεύει ως σημαντικός δείκτης της ομοιομορφίας πάχους σε όλη την πλάκαΣτις διεργασίες των ημιαγωγών, το πάχος της πλακέτας πυριτίου πρέπει να είναι πολύ ομοιόμορφο σε όλη την επιφάνεια της.και υπολογίζεται η μέγιστη διαφοράΤελικά, η τιμή αυτή χρησιμεύει ως βάση για τον προσδιορισμό της ποιότητας της πλακέτας πυριτίου.το TTV μιας πλακέτας πυριτίου 4 ιντσών είναι γενικά μικρότερο από 2 μικρομέτρα, ενώ για ένα πλακάκι πυριτίου 6 ιντσών, είναι συνήθως λιγότερο από 3 μικρομέτρα.